COBEAM2 DIE技術

ダイセンシング技術

オールセンサーズの圧力センサーダイはCOBEAM2として登録されているCollinear Beam2技術を適切に使用しております。この技術革新によってピエゾ抵抗素子の圧力センサーに関する最先端技術は、ひずみ技術を基礎としたシリコンを使用する低圧センシング性能をも超えて進歩しました。CoBeam2技術は、これまでボス構造やより大きなダイトポロジーでないと得られなかった高レベルの圧力感度に到達しています。設計においてより多くの通常のボス構造を取り除く事によって、重力や振動の感度が大きく軽減されます。ひずみ感知抵抗は抵抗や感度の温度係数の選択を通して一定電流駆動もしくは電圧駆動を用い処理されます。COBEAM2技術は6インチのシリコンウェハーを処理する最高水準のMEMSと結びつけると1950年代に使用されていた接着式ひずみゲージサンセーの側面を具現化します。