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【製品紹介】メムスピラニ真空トランデューサー:PAV4100 シリーズ

PAV4100シリーズは、費用効果の高いOEM統合の為に設計された真空トランデューサです。MEMS熱伝導センサ(ピラニセンサー)、測定電子機器、及びマイクロプロセッサで構成され、超小型PCBアセンブリにパッケージ化されています。

センサエレメントは、ガスの熱伝導率が真空圧に比例するという原理の下で動作する、Posifaの実績のあるMEMS熱伝導チップに基づいています。

電子機器とマイクロプロセッサはセンサ信号を増幅してデジタル化し、I2Cインターフェースを介して出力を提供します。真空の熱伝導率は周囲温度によって変化する為、内蔵の温度センサから入力を取得して、温度補償アルゴリズムがマイクロプロセッサーに実装されます。

統合を容易にする為、PVC4100は、PCBアセンブリにはんだ付けされたコネクタ終端のワイヤーハイネスを含んでいます。PVC4100は、PVC4000 の校正バージョンです。

詳細資料ご希望の方は直接ご連絡願います。

<特徴>

・レンジ:0.1mTorr to 760,000 mTorr(0.013Pa to 101kPa)

・精度:15% reading from 1 mTorr to 200,000 mTorr

・早い応答速度:250 ms

・バッテリー駆動の機器に対応した低消費電力

・温度補償

・汚染に強い

<アプリケーション>

・真空絶縁パネル等、一次真空下で維持されている閉鎖環境での漏れ検出

・デジタル真空計

<仕様>

・動作温度:-25~85℃

・保菅温度:-40~90℃

・振動:100g peak (5 drops, 3 axis)

・過圧:27.5 bar

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